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          沉積氣體

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          化學氣相沉積氣體用來生成沉積薄膜。不同的沉積薄膜需要不同的電子氣體。

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          刻蝕氣體

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          刻蝕過程需要電子氣體與被刻蝕物發生化學反應??涛g氣體與被刻蝕物發生化學反應,導致被刻蝕物消除。

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          摻雜氣體

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          離子注入氣體是在作為參雜氣體注入到晶圓表面。

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          其他氣體

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          隨著市場的發展,公司自主研發半導體其他工藝所需的稀有氣體及其他混合氣體,解決部分“卡脖子”產品問題。

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